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鍍膜工藝設(shè)計(jì)

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:12622

鍍膜工藝之設(shè)計(jì)應(yīng)著重考慮不同薄膜材料之間需要不同的沉積工藝,

不同濺射技術(shù)的實(shí)施(直流、中頻、射頻、脈沖、反應(yīng)濺射,以及它們之間的結(jié)合而發(fā)展的技術(shù),或者新技術(shù)的應(yīng)用等),

同種技術(shù)不同工藝參數(shù)的調(diào)整(功率,氣壓,沉積方式等),前處理(清洗、預(yù)熱等),后處理(熱處理等)。

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