1. 電阻蒸發源蒸鍍發  


A. 加熱：高熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流通過直接加熱。 


B. 優點：結構簡單、造價便宜、使用可靠


C. 缺點：所能到到的最高溫度有限，加熱器壽命較短


D. 適合：熔點不太高，尤其對膜層質量要求不大高的大批量生產。 


 2. 電子束蒸發源蒸鍍發 


A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加熱


B. 優點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高，熱效率高。


C. 分類：環形槍，直槍，e型槍和空心陰極槍等幾種。


D. 適合：高熔點，純度要求高的材料。