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CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-13 10:08:50 人氣:27088
CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機(jī)

工作原理

CJHL系列多功能型真空鍍膜機(jī)中集成了多弧離子鍍膜與磁控濺射鍍膜兩種沉積技術(shù)與一體化,特別適用于鍍制多種金屬膜,也可以鍍多層膜、合金膜及化學(xué)物質(zhì),如鍍超硬耐磨損膜、防腐蝕膜、裝飾膜(金、銀、黑、紅、藍(lán)、綠等顏色)、結(jié)合磁控濺射技術(shù)可鍍制多層復(fù)合膜,可以鍍制不銹鋼、鋁、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍制如TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、金剛石膜(DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復(fù)合膜層。

應(yīng)用范圍

適用于五金件、玻璃工藝品、陶瓷工藝品等,如手表、手機(jī)金屬殼、潔具、模具、電子產(chǎn)品、水晶玻璃、眼鏡框、餐具、刀具等。近年,電弧離子鍍膜技術(shù)得到了很大的發(fā)展,從原來(lái)單一的小弧源發(fā)展到柱弧、大平面弧等。而且與中頻磁控濺射技術(shù)的結(jié)合使得設(shè)備的適用面更廣,比如在硬質(zhì)涂層的應(yīng)用、更光潔細(xì)密的裝飾涂層的應(yīng)用等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1) 裝備低溫離子輔助源,無(wú)需加熱直接常溫冷鍍成膜,節(jié)能省電,提高產(chǎn)能。
2)綜合了磁控鍍與多弧鍍的特點(diǎn),覆蓋領(lǐng)域廣泛,能夠在各種材料上鍍制各類功能膜、裝飾膜和帶裝飾效果的功能膜。

技術(shù)參數(shù)表

CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機(jī)
型號(hào)CJHL-600CJHL-800CJHL-1000CJHL-1200CJHL-1400CJHL-1500CJHL-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴(kuò)散泵機(jī)組KT500擴(kuò)散泵機(jī)組KT500擴(kuò)散泵機(jī)組KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組
鍍膜系統(tǒng)直流電源或中頻電源+多弧鍍膜電源、多功能孿生磁環(huán)弧靶+矩形平面靶+圓柱磁控多弧兩用靶(可選配)
輔助鍍膜系統(tǒng)低溫離子輔助源(除工具鍍外無(wú)需加溫系統(tǒng))
充氣系統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)
控制方式手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa
備注以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做
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